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液氬
對環境無害,廢棄物可直接排放至大氣。
主要用途
用于焊接、不銹鋼制造、冶煉;以及半導體工業中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化,外延擴散,多晶硅離子注入載流燒結;用作標準氣,零點氣等;金屬焊接“氬弧焊”。